Cho đến nay, Việt Nam chưa sản xuất được sản phẩm linh kiện vi cơ điện tử (MEMS) nào. Tuy nhiên, khóa học thiết kế và chế tạo MEMS vừa bế giảng ngày 16/12 đã cung cấp 12 chuyên gia có khả năng tự thiết kế, chế tạo và đóng gói một linh kiện MEMS.
Diễn ra trong 5 tháng (từ tháng 8-12/2016), khóa đào tạo thiết kế và chế tạo linh kiện vi cơ điện tử (MEMS) đã bế giảng ngày 16/1212. Đây là khóa đào tạo nằm trong nhiệm vụ mà UBND TPHCM giao cho Ban Quản lý Khu CNC TPHCM chủ trì, Trung tâm R&D là đơn vị thực hiện theo đề án “Đào tạo thiết kế, chế tạo MEMS và ứng dụng” thuộc chương trình Phát triển công nghiệp vi mạch TPHCM giai đoạn 2013-2020.
Khóa học có 12 học viên là các cán bộ kỹ thuật, giảng viên đến từ Trung tâm Nghiên cứu Triển khai (R&D) Khu công nghệ cao (CNC) TPHCM, Đại học Sư phạm kỹ thuật, Học viện Kỹ thuật mật mã.
Khóa đào tạo MEMS được triển khai tại phòng thí nghiệm bán dẫn của Trung tâm R&D, với sự hướng dẫn của Giáo sư Susumu Sugiyama (Tổ chức Sorist - Nhật Bản) bằng hình thức giải mã công nghệ chế tạo cảm biến áp suất kiểu áp trở (gọi tắt là cảm biến) dựa trên nền vật liệu wafer Si 4 inch và đóng gói ra sản phẩm cuối cùng với thông số của cảm biến.
Tại lễ bế giảng khóa đào tạo được Trung tâm R&D tổ chức ngày 16/12, ông Ngô Võ Kế Thành - Giám đốc Trung tâm R&D - cho biết, trong khóa đào tạo này, các kỹ sư đã trải qua toàn bộ các khâu trong một quy trình khép kín, từ thiết kế linh kiện cảm biến đến các công đoạn quang khắc, khuếch tán, tạo điện cực kim loại, đo kiểm, khảo sát các thông số,… tại phòng sạch Trung tâm R&D. "Việc đóng gói sản phẩm và tích hợp sản phẩm vào hệ thống đo mực nước là một bước tiến lớn trong việc tiếp cận công nghệ đóng gói cảm biến từ các chuyên gia Nhật Bản truyền đạt" – ông Thành nhấn mạnh.
Ông Trịnh Xuân Thắng - học viên khóa đào tạo - cho biết thêm, hiện nay chưa có một sản phẩm MEMS nào “made in Vietnam”. Các trường đại học, viện nghiên cứu mới chỉ dừng lại ở khâu nghiên cứu thiết kế và gia công phiến Si. Mục đích của khóa đào tạo là hướng tới sản phẩm MEMS made in Vietnam, để ứng dụng đặc thù, phù hợp với tình hình của Việt Nam và an ninh, quốc phòng.
"Kết thúc khóa đào tạo này, chúng tôi đã nắm bắt được công nghệ chế tạo cảm biến bằng công nghệ MEMS, có kỹ năng giải quyết các vấn đề kỹ thuật trong nghiên cứu, sản xuất linh kiện MEMS, có thể tự thiết kế, chế tạo và đóng gói một linh kiện MEMS để tạo ra các sản phẩm cảm biến dạng thương mại nhằm ứng dụng vào nhiều lĩnh vực" - ông Thắng khẳng định.
Theo TS Lê Hoài Quốc - Trưởng Ban Quản lý Khu CNC TPHCM, trong khi chưa có một đơn vị nào trên cả nước thực hiện được toàn bộ các khâu chế tạo cảm biến, việc 12 học viên có được kiến thức vững chắc và tự tin làm chủ công nghệ, sẽ tạo tiền đề để phát triển mạnh ngành MEMS của Tp.HCM trong tương lai. Với sản phẩm cụ thể được áp dụng cảm biến là hệ thống đo mực nước, TP.HCM có thể xây dựng được hệ thống thông tin cảnh báo nơi ngập, mức độ ngập để giúp người tham gia giao thông chủ động được lộ trình di chuyển của mình.
"Trong thời gian tới, Trung tâm R&D sẽ lựa chọn thiết kế tối ưu, kiểm định chất lượng theo tiêu chuẩn quốc tế, đăng ký sở hữu trí tuệ, đồng thời sản xuất thử nghiệm, thương mại hóa linh kiện MEMS đầu tiên và ứng dụng thực tiễn tại Việt Nam" - TS Quốc cho biết.